金融界2025年8月23日消息,国家知识产权局信息显示,胜高股份有限公司申请一项名为“基板搬送系统”的专利,公开号CN120527280A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,提供一种基板搬送系统,其能够减轻通过拍摄来检测基板的搬送中的异常的有无时的数据处理的负担。基板搬送系统具有:搬送部,搬送基板以使得依次到达A位置、B位置、C位置、所述B位置、所述A位置;A传感器,检测到达所述A位置的所述基板的存在;B传感器,检测到达所述B位置的所述基板的存在;定时部,在所述A传感器及所述B传感器依次检测到所述基板的存在时测量经过时间;以及异常检测部,进行到达所述C位置的所述基板的拍摄并且基于由所述定时部测量的所述经过时间和由所述拍摄得到的图像来检测所述基板的搬送中的异常的有无。
本文源自:金融界
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